薄膜压电MEMS是一种利用薄膜压电材料制造微型机电系统的技术。它结合了薄膜技术、压电技术和微机电系统技术，具有体积小、重量轻、响应速度快、能耗低等优点。在传感器、执行器、能源转换器等领域有着广泛的应用。

薄膜压电MEMS的基础知识主要包括薄膜技术、压电技术以及微机电系统技术。薄膜技术是指利用薄膜加工技术，将材料加工成厚度只有几微米的薄膜。薄膜可以降低材料的内应力，提高材料的稳定性和性能。而压电技术则是利用压电效应，即材料在外加电场的作用下会产生形变，将这种效应应用到薄膜上可以实现微小的振动和位移。微机电系统技术则是指将微机电元件集成到微型器件中，实现微型机械系统的功能。

薄膜压电MEMS的制作主要包括薄膜制备、压电薄膜的制备和微机电系统的制备三个步骤。首先是薄膜制备，通过物理气相沉积、化学气相沉积、溅射等方法将压电材料制备成薄膜。然后是压电薄膜的制备，通过对薄膜进行退火、极化等处理，使其具有良好的压电性能。最后是微机电系统的制备，将压电薄膜与传感器、执行器等微机电元件集成在一起，形成完整的微型机电系统。

薄膜压电MEMS在医学、军事、航空航天等领域有着广泛的应用。在医学领域，它可以用于制造微型压力传感器、微型振动传感器等，用于监测人体内部的生理参数。在军事领域，它可以用于制造微型惯性传感器、微型振动发电机等，用于军事设备的探测和能源转换。在航空航天领域，它可以用于制造微型加速度计、微型压力传感器等，用于航空航天器的姿态控制和环境检测。

总的来说，薄膜压电MEMS是一种具有巨大发展潜力的技术，将为微型机电系统的发展带来新的机遇和挑战。期待在未来的研究中，能够进一步完善薄膜压电MEMS的制备工艺，拓展其在各个领域的应用，为人类的生活和科技进步做出更大的贡献。