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SABMB219(ALD) 基本参数信息,中文介绍

 

2024-04-16 09:26:00

晨欣小编

SABMB219 是一款先进的ALD(Atomic Layer Deposition,原子层沉积)设备,具有一系列优异的基本参数,适用于各种薄膜沉积和表面处理应用。

该设备可提供高质量、均匀和可控的薄膜沉积,具有较低的沉积温度和优异的成膜速度。其具体参数包括沉积温度范围在100-400°C之间,沉积速率可调节,达到纳米级厚度控制,以及高度重复性的沉积过程。

SABMB219 设备采用先进的ALD技术,可以实现对多种材料的沉积,如金属氧化物,金属薄膜等。同时,其独特的气相反应装置和沉积腔体设计,可以有效防止杂质等污染物的进入,保证所得薄膜的纯净性和稳定性。

此外,SABMB219 还具有良好的反应性和化学稳定性,可适应不同的应用环境和工艺要求。同时,其自动化控制系统和用户友好的界面设计,使操作更加简便和高效,大大提高了生产效率和产品质量。

总体来说,SABMB219 是一款性能稳定、功能全面的ALD设备,可广泛应用于光电子、半导体、新能源等领域,为用户提供高品质的薄膜沉积和表面处理解决方案。

 

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